POLOS® SPIN200x 基材旋涂機 NPP 高級版

POLOS® SPIN200x是一種多功能、高質(zhì)量的基材旋涂機，由NPP 制成。

它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計。

可以同時實現(xiàn)臺式（Table top）和嵌入式（In-deck）版本，用于手動或自動（可選）化學(xué)藥劑分配。

適用于涂層、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。

POLOS® SPIN200x 基材旋涂機 NPP 高級版

腔室規(guī)格:

- 最大支持8" (200mm) 晶圓

- 最大支持6" x 6" (105mm) 基板

- 材質(zhì): 天然聚丙烯(NPP) 

硬件規(guī)格

- 液體過濾器

- 具有特殊的外殼和排水設(shè)計，可在現(xiàn)場輕松切換臺式和嵌入式型號.

- 配備中心注射架，用于安裝注射器或分配噴嘴

- 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全

-大型（可拆卸）觸摸顯示屏

- USB 端口，用于在 USB 驅(qū)動器上存儲配方和進行軟件更新

- 8 I/O 端口

- 能夠定義電機歸零位置，便于在機器人控制/自動化環(huán)境中進行集成

- 通過集成步進電機實現(xiàn)自動開蓋和關(guān)蓋.

驅(qū)動單元規(guī)格:   

- 采用間接無刷驅(qū)動單元

- 最高轉(zhuǎn)速可達(dá)12,000 RPM（取決于基板/卡盤） 

- 具有高加速度和高精度

- 加/減速范圍為1-30,000 RPM 

- CW、CCW旋轉(zhuǎn)和Puddle選項

隨附旋涂儀卡盤和適配器:

-隨附1x A-V87-S96-PP-HD, 真空卡盤

或

-隨附1 x A-V36-S45-PP-HD, 真空卡盤

-隨附1 x D-V10-S50-PP-HD, 碎片適配器

- FCA SPS-Europe, The Netherlands